iRP 電漿表面清潔與改質系統 本公司推出的 iRP 是一部單腔批次式的電漿清潔與表面改質系統,此一系統是利用 integrate/ICP remote plasma System 整合高密度電漿源與偏壓源及氣體分流機構所設計的電漿制程機台,提供高效率、高品質、低營運成本之特性,充份的將電漿的優勢應用在各種基材的表面清潔與表面改質處理上。
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