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Pfeiffer 普發渦輪分子泵组

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分子泵機組 TSH/U 071 產品優點:
1. 可直接交付使用的真空泵系統
2. 安裝靈活
3. 幹式高真空系統
4. 配置隔膜泵
5. 集合了所有系統的優點

分子泵機組 TSH/U 071 應用領域:
1. 質譜顯微鏡 2. 檢測裝置生產 3. 微天平 4. 濺射或者蒸鍍設備
5. 表面物理 6. 實驗室應用

分子泵機組 TSH/U 261 產品優點:
1. 分子泵和前級泵的最佳配置
2. 模組化設計,每個零部件都有非常好的相容性
3. 集成渦輪分子泵控制器隨插即用
4. 可帶遙控功能
5. 可供 Profibus 附件
6. 真正適合各使用者所需的最佳真空泵組合
7. 根據用途改裝簡便,服務方便
8. 不需要額外的控制系統
9. 無需安裝和布纜
10. 對所有應用需求都可以達到最優化的安裝
11. 集成 Profibus 工業控制系統

分子泵機組 TSH/U 261 應用領域:
1. 研發 2. 加速器 3. 分析和表面物理 4. 真空工藝技術
5. 電子束焊接 6. 檢漏設備

分子泵機組 TSH/U 261產品規格:

分子泵型號

連接法蘭

抽速 l/s

極限真空 mbar

前級泵抽速 m3/h

入口

N2

配有迴旋葉片式真空泵

配有隔膜泵

MVP-015

DUO 2.5

DUO 5

DUO 10

TSH 071

40

33

〈1.10-7

〈1.10-7

0.9

2.5

5

10

TSH 071

63

59

〈1.10-7

〈1.10-7

0.9

2.5

5

10

TSU 071

63

59

〈5.10-10

〈1.10-8

0.9

2.5

5

10

TSH 261

100

210

〈1.10-7

〈1.10-7

2.1

2.5

5

10

TSU 261

100

210

〈5.10-10

〈1.10-8

2.1

2.5

5

10

TSH 521

100

290

〈5.10-10

〈1.10-8

2.1

2.5

5

10

TSH 521

160

290

〈5.10-10

〈1.10-8

2.1

2.5

5

10

TSU 521

160

510

〈5.10-10

〈1.10-8

2.1

2.5

5

10


 

分子泵機組 TSH/U 261尺寸及配件:











 

分子泵機組

分子泵型號

連接法蘭 DN

極限真空 mbar

前級泵抽速 m3/h

入口

旋片泵

隔膜泵

MVP-015

DUO 2.5

DUO 5

TSH 071

40

1.10-7

1.10-7

0.9

2.5

5

TSU 071

63

5.10-10

1.10-8

0.9

2.5

5

TSH 261

63

1.10-7

1.10-7

2.1

2.5

5

TSU 261

100

5.10-10

1.10-8

2.1

2.5

5

TSH 521

100

5.10-10

1.10-8

2.1

2.5

5

TSU 521

160

5.10-10

1.10-8

2.1

2.5

5

 

 

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