CTI-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)
由於低溫泵(冷凝泵)具有無油, 對所有氣體的抽速都較大, 特別是對水蒸汽
H2 等抽速很大, 適應性強, 製冷機低速運行, 且運動部件很少, 有利於長期可靠運行等優點
因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應用於IC生產工藝中的蒸發、濺射、離子注入
分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器件、材料科學、表面分析儀器等領域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。
FSE 全自動光學系統
1. 採用一體成型機架.腔體外觀採用圓弧造型
2. Pump, Cryo pump 壓縮機及 Power supply 均放在機架內部.
3. 客戶輸送動線允許,機台 Move in 能在一天內即可以運轉減少機台連線時間.
CTI-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)
由於低溫泵(冷凝泵)具有無油, 對所有氣體的抽速都較大, 特別是對水蒸汽、H2 等抽速很大, 適應性強, 製冷機低速運行, 且運動部件很少, 有利於長期可靠運行等優點. 因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應用於IC生產工藝中的蒸發、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器件、材料科學、表面分析儀器等領域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。
+886-2-8772-8910