4W De-Layering 離子蝕刻系統
4W De-Layering 離子蝕刻系統: 4Wave's Ion Beam De-Layering 針對小於 48nm 線寬的元件的故障分析,提供一種機動的,具有價格優勢的方法。4Wave's 的系統可以依據客戶的需求,提供不同的選擇。包括二次離子質譜儀終點偵測器和磁控陰極靶做為蝕刻後的保護層鍍膜。
+886-2-8772-8910