CTI 低溫泵(冷凝泵)

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CTI 低溫泵(冷凝泵)

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FSE 全自動光學系統

1. 採用一體成型機架.腔體外觀採用圓弧造型
2. Pump, Cryo pump 壓縮機及 Power supply 均放在機架內部.
3. 客戶輸送動線允許,機台 Move in 能在一天內即可以運轉減少機台連線時間.

CTI-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)
由於低溫泵(冷凝泵)具有無油, 對所有氣體的抽速都較大, 特別是對水蒸汽、H2 等抽速很大, 適應性強, 製冷機低速運行, 且運動部件很少, 有利於長期可靠運行等優點. 因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應用於IC生產工藝中的蒸發、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器件、材料科學、表面分析儀器等領域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。

CTI-CRYOGENICS 世界頂級的低溫泵(冷凝泵),其先進的技術，穩定的產品品質引領著真空低溫泵的發展。冷凝泵的原理是將氣體冷凍結成霜，從而形成真空；或者氣體冷凍後動能減少，從而用焦碳將其吸附住，形成真空。CTI-CRYOGENICS 冷凝泵（低溫泵）無論在真空度，性能，維護成本，遠端監控功能上都給客戶提供了專業完美的解決方案。

CTI-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)產品優點：
1. 真空度高，無油，符合高要求的真空系統的需要
2. 泵內沒有機械運動部件，沒有易損件，安裝靈活，無需特別維護
3. 吸水汽的能力強，抽速大；具有遠端監控功能
4. On-Board 型冷凝泵具有全自動快速再生功能
目前CTI-CRYOGENICS冷凝泵系列:
Cryo-Torr 冷凝泵；On-Board 冷凝泵；On-Board IS 智能冷凝泵

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