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應用十一、氦質譜檢漏儀 CL 004 氦氣標準漏孔檢漏儀校準應用
CL 004 標準校準漏孔外形為長方體,可以方便放置在任意平面上,其功能用於校準或檢測氦質譜檢漏儀吸槍模式。
外形圖如下圖:
氦質譜檢漏儀尺寸如下圖:尺寸單位 mm(英寸)
Pfeiffer CL 004 校准漏孔根据漏率值范围不同分为三种规格:
订货号 漏率范围
BG447704-T approx 10-4 mbar l/s
BG447705-T approx 10-5 mbar l/s
BG447706-T approx 10-6 mbar l/s
读数精度:+/-10 %
用户可以根据不同需求确定使用范围,但是具体的数值还要根据校准漏孔本身的读数为准。
3. 校准漏孔操作说明
标准校准漏孔是持续泄露的,既氦气从标准泄漏点持续流出。
应用条件
环境温度 +5 ... +35 °
吸槍校準
將氦質譜檢漏儀 吸槍對準校準洩漏點,緊靠在洩漏點上,大約 10 s 數值會穩定。
在使用氦氣標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準時,氦質譜檢漏儀內部校準值要設定和標準漏孔的實際漏率值一樣,然後按照校準程式進行校準,最後將校準後的結果保存,校準完畢;另外還可以在檢漏儀吸槍模式工作狀態時將吸槍靠近校準漏孔洩漏點,比較一下氦質譜檢漏儀上的測量值和標準漏孔的實際值的差異,然後在進行校準,再比較。
3. 氦氣標準漏孔應用
氦質譜檢漏儀 吸槍模式(Sniffer mode)使用時,數值會產生誤差,使用標準氦氣漏孔對氦質譜檢漏儀 進行校準,在實際應用中非常必要,Pfeiffer CL 004 氦氣標準漏孔提供一個工業標準漏率值,氦質譜檢漏儀對應此標準漏率值進行校準,可以提高氦質譜檢漏儀的精確度,達到一個更好的測試效果。
4. 工業標準
This is to certify that the leakage rate given in our quality inspection certificate has been established by equipment which are regularly checked (in the course of our control of measurement equipment according to ISO9001) with PTB*-calibrated standard leaks. In this way our measurements of leakage rates are traceable to national standards as required by ISO9000.
*PTB = Physikalisch-Technische Bundesanstalt Berlin