殘餘氣體分析儀 PrismaPlus|伯東公司

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殘餘氣體分析儀 PrismaPlus

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殘餘氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級杆質譜分析儀
伯東公司代理德國 Pfeiffer 殘餘氣體質譜 QMG系列，模組化設計，質量數範圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟體。殘餘氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲，適用於多種測量用途，使用壽命長。

Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優勢：
1. 模組化設計提供了產品最好的適應性
2. 結構緊湊，性能出眾
3. 多種介面，系統集成簡單
4. 可通過乙太網網路化
5. 測試過程快速穩定，解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設計保證最大的可靠性
8. 最低的可檢測分壓達1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體，操作直觀

殘餘氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數：

型號	QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3		QMG 220 M1			QMG 220 M2		QMG 220 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)				電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300		1–100			1–200		1–300
四極杆直徑／長度	6/100 mm
最小檢測極限 F mbar	1X10^-12	2X10^-12	4X10^-12		5X10^-12			1X10^-11		2X10^-11
最小檢測極限 M mbar	-	-	-		1X10^-14			< 2X10^-14		< 4X10^-14
對Ar的靈敏度 F A/mbar	1X10^-3	6X10^-4	3X10^-4		5X10^-4			3X10^-4		1.5X10-4
對Ar的靈敏度 M A/mbar	-	-	-		200			200		100
最大工作壓力 F	1X10-4 mbar
最大工作壓力 M mbar	-	-	-		1X10-5			1X10^-5		1X10^-5
對臨近質量數的影響	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm		< 10 ppm			< 20 ppm		< 50 ppm
操作溫度 F	150 °C
烘烤溫度 F	200 °C / 300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
重量	2.4 kg	2.4 kg		2.4 kg		3.8 kg	3.8 kg		3.8 kg

殘餘氣體分析質譜儀應用：四極質譜儀 QMG非常適合於檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝

伯東公司殘餘氣體分析質譜儀 QMG 客戶案例：

Pfeiffer 殘餘氣體分析質譜儀

1.設計緊湊
PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀積累了豐富的應用經驗，高靈敏度，高穩定性和智慧化操作的完美結合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設計和簡單的系統集成，並從中受益。
2.應用範圍廣闊
通過可選擇質量數範圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質譜儀可以應用於多個領域，例如：工業和分析領域、研發、檢漏、半導體生產以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從品質保證，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的最佳方案。
3.檢測速度快，靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質譜儀可以在三個不同的質量數範圍（1-100，1-200，1-300 amu）內，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結果。在真空系統中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規，PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作為一個精確的全壓監控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數記錄的易讀平臺。結合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網，數位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統中去。輕點滑鼠就可以啟動預設的功能。

PrismaPlus^TM 四極質譜儀尺寸及配件：

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPlus：伯東公司真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心，100% 原裝進口並提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售後維修服務。

四極質譜儀 PrismaPlus 模組化設計使用壽命長

PrismaPlusTM型號		QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3
質量數範圍	amu	1-100	1-200	1-300
測桿系統直徑／長度	mm	6/100	6/100	6/100
檢測極限，最小	mbar	1.10-12	2.10-12	4.10-12
對Ar的靈敏度	A/mbar	1.10-3	6.10-4	3.10-4
最大工作壓力	mbar	1.10-4	1.10-4	1.10-4

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