FSE 全自動光學系統
1. 採用一體成型機架.腔體外觀採用圓弧造型
2. Pump, Cryo pump 壓縮機及 Power supply 均放在機架內部.
3. 客戶輸送動線允許,機台 Move in 能在一天內即可以運轉減少機台連線時間.
CTI-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)
由於低溫泵(冷凝泵)具有無油, 對所有氣體的抽速都較大, 特別是對水蒸汽、H2 等抽速很大, 適應性強, 製冷機低速運行, 且運動部件很少, 有利於長期可靠運行等優點. 因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應用於IC生產工藝中的蒸發、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器件、材料科學、表面分析儀器等領域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。